| 发明名称 | 二维空间光调制器 | ||
| 摘要 | 提供一种具有衍射性像素的二维(2D)紧密封装的MEMS(微机电系统)阵列的空间光调制器。每个像素(320)包括多个衍射单元或衍射器。每个衍射器包括被布置在基片的上方和与基片的上表面间隔开的帐篷部件(102)，被布置在基片与帐篷部件(102)之间的可移动的传动器(300)，以及移动传动器(300)的驱动器。帐篷部件(102)具有面向远离基片的第一平面光反射面，第一平面光反射面具有在其上形成的小孔径。传动器(300)具有平行于和潜在地与第一平面光反射面共面的并相对于接纳传送到它的光的孔径而布置的第二平面光反射面。孔径(104)的尺寸和形状规定了具有这样反射率的一个面积，它基本上等于围绕该孔径(104)的第一平面光反射面的面积的反射率，以提供最大对比度比值。 | ||
| 申请公布号 | CN1914454A | 申请公布日期 | 2007.02.14 |
| 申请号 | CN200480041501.9 | 申请日期 | 2004.12.09 |
| 申请人 | 硅光机器公司 | 发明人 | A·P·佩恩;J·I·特里斯纳迪 |
| 分类号 | F21L4/00(2006.01) | 主分类号 | F21L4/00(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 程天正;梁永 |
| 主权项 | 1.一种用于调制入射到其上的光的衍射器，该衍射器包括：具有上表面的电活动的基片；被布置在基片上表面的上方和与其间隔开的帐篷部件，并具有被形成在帐篷部件的上侧面上(面向离开基片的侧面)的第一平面光反射面，该第一平面光反射面具有在其上形成的孔径；被布置在基片上表面与第一平面光反射面之间的可移动的传动器，可移动的传动器具有平行于第一平面光反射面和相对于接收经过它的光的该孔径而布置的第二平面光反射面；以及用于相对于帐篷部件的第一平面光反射面移动传动器而同时保持第二平面光反射面基本上平行于第一平面光反射面的机构。 | ||
| 地址 | 美国加利福尼亚州 | ||