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发明名称
摘要
申请公布号 JP3881282(B2) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 JP20020149738 申请日期 2002.05.23
申请人 发明人
分类号 C23C16/42;H01L21/316;C03C3/04;C03C14/00;C23C16/30;C23C16/40;H01B3/12;H01L21/205;H01L21/312;H01L21/768;H01L23/522 主分类号 C23C16/42
代理机构 代理人
主权项
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