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发明名称 Method for manufacturing a high aspect ratio structure with high fabrication resolution using a localized electrochemical deposition
摘要
申请公布号 KR20070018445(A) 申请公布日期 2007.02.14
申请号 KR20050073154 申请日期 2005.08.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/20;H01L21/288 主分类号 H01L21/20
代理机构 代理人
主权项
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