发明名称 Chip bonding heater with differential heat transfer
摘要 A heater for flip chip bonding transfers more heat to the periphery of a die than to the center. This may result in a more even temperature profile along the die and may help prevent epoxy voiding problems.
申请公布号 US7176422(B2) 申请公布日期 2007.02.13
申请号 US20050156064 申请日期 2005.06.17
申请人 INTEL CORPORATION 发明人 SHI SONG-HUA
分类号 H05B3/10;B23K1/00;H01L21/50;H01L23/34 主分类号 H05B3/10
代理机构 代理人
主权项
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