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发明名称
SELF-CLEANING CATALYST CHEMICAL VAPOR DEPOSITION DEVICE AND CLEANING METHOD THEREFOR
摘要
申请公布号
KR20070018037(A)
申请公布日期
2007.02.13
申请号
KR20067018463
申请日期
2006.09.08
申请人
发明人
分类号
H01L21/205
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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