| 主权项 |
1.一种导电球的安装方法,其包含: 把具有使导电球配置于基板之复数个开口的光罩 装设于该基板之工程;以及 利用沿着该光罩表面移动的刮板台座,使该导电球 群保持在该光罩表面之一部份的区域,接着,以使 其区域之轨迹的一部份重复的方式移动该区域之 充填工程。 2.如申请专利范围第1项之导电球的安装方法,其中 该充填工程中,系使该区域以Z字状或螺旋状移动 。 3.如申请专利范围第1项之导电球的安装方法,其中 该充填工程中,利用该刮板台座使该导电球从该区 域的周边朝该区域滙集。 4.如申请专利范围第1项之导电球的安装方法,其中 该区域为圆或与圆外接之多角形。 5.如申请专利范围第1项之导电球的安装方法,其中 该充填工程中,系使该刮板台座相对于该光罩以垂 直轴为中心作旋转,并使该垂直轴沿着该光罩的表 面移动,利用该刮板台座之旋转而使该导电球滙集 在该区域。 6.如申请专利范围第1项之导电球的安装方法,其中 该充填工程中,系使该刮板台座相对于该光罩以垂 直轴为中心旋转,且使该垂直轴沿着该光罩表面移 动,而在与该刮板台座之旋转中心一起移动之圆形 的该区域周围之该光罩表面,利用从该刮板台座所 突出的构件或气体之吹出来扫集该导电球并滙集 于该区域。 7.如申请专利范围第6项之导电球的安装方法,其中 该充填工程中,系利用从该刮板台座突出的构件或 气体之吹出而按压该光罩之该区域的周围。 8.如申请专利范围第1项之导电球的安装方法,其中 该充填工程中,系使该刮板台座相对于该光罩以垂 直轴为中心作旋转,且使该垂直轴沿着该光罩表面 移动,且利用从该刮板台座朝该光罩表面突出的刮 板而扫过该区域之周围的该光罩表面。 9.如申请专利范围第8项之导电球的安装方法,其中 该充填工程中,系利用该刮板按压该光罩之该区域 的周围。 10.如申请专利范围第1项之导电球的安装方法,其 中 该充填工程中,在该区域之周围的该光罩表面,利 用从该刮板台座所吹出的气体将该导电球扫集并 滙集在该区域。 11.一种导电球的安装方法,其包含: 把具有使导电球配置于基板之复数个开口的光罩 装设于该基板之工程;以及 将用以沿着该光罩表面移动该导电球的刮板台座, 以其轨迹的至少一部份会重复的方式使其移动之 充填工程。 12.一种导电球的安装方法,其包含: 把具有使导电球配置于基板之复数个开口的光罩 装设于该基板之工程;以及 利用可沿着该光罩表面移动的刮板台座,在该光罩 表面之一部份区域,从其区域周围滙集该导电球且 在其区域移动之充填工程。 13.一种充填装置,系以把具有使导电球配置于基板 之复数个开口的光罩装设该基板的状态下对该复 数个开口充填该导电球之装置,其具备有: 刮板台座,用以将该导电球群保持于该光罩表面之 一部份的区域;及 刮板台座支撑装置,支撑该刮板台座使其沿着该光 罩表面移动。 14.如申请专利范围第13项之充填装置,其中 该刮板台座支撑装置系使该刮板台座沿着该光罩 表面并在描绘Z字的方向或描绘螺旋的方向,以该 区域之轨迹的一部份会重复的方式移动。 15.如申请专利范围第13项之充填装置,其中 该刮板台座支撑装置系可使该刮板台座沿着该光 罩的表面而在任意方向移动。 16.如申请专利范围第13项之充填装置,其中 该刮板台座系具备有从该区域的周围朝该区域将 该导电球滙集的装置。 17.如申请专利范围第13项之充填装置,其中 更具有对该区域供给该导电球之装置。 18.如申请专利范围第13项之充填装置,其中 该导电球系直径为30~300m左右的锡球,金球或铜 球。 19.一种安装装置,其具有:申请专利范围第13项之充 填装置;及将该光罩装设于该基板之装置。 20.一种充填装置,系以把具备将导电球配置于基板 之复数个开口的光罩装设在该基板之状态下对该 复数个开口充填该导电球之装置,其具有: 具备滙集装置的刮板台座,该滙集装置系朝向该光 罩表面之一部份的区域而从其区域周围将该导电 球滙集;以及 刮板台座支撑装置,支撑该刮板台座使其沿着该光 罩表面移动。 21.如申请专利范围第20项之充填装置,其中 该刮板台座支撑装置系可使该刮板台座沿着该光 罩的表面而在任意的方向,且在描绘Z字方向及描 绘螺旋的方向中之至少任一方向移动。 22.如申请专利范围第20项之充填装置,其中 该刮板台座支撑装置系具备有使该刮板台座对该 光罩为以垂直轴为中心作旋转的装置,以及使该垂 直轴沿着该光罩的表面移动之装置, 滙集该导电球之装置为,利用该刮板台座的旋转使 该导电球移动于以该刮板台座的旋转中心为中心 之圆形之该区域的方向。 23.如申请专利范围第22项之充填装置,其中 滙集该导电球之装置为刮扫器,其利用从该刮板台 座突出的构件或气体之吹出而扫过该圆形区域之 周围的该光罩表面。 24.如申请专利范围第23项之充填装置,其中 该刮扫器系利用从该到板台座突出的构件或气体 之吹出而按压该区域之周围的该光罩表面。 25.如申请专利范围第22项之充填装置,其中 用以将该导电球滙集的装置系具备有复数个刮板, 其系从该刮板台座朝该光罩表面突出并用以扫过 该圆形区域之周围的该光罩表面。 26.如申请专利范围第25项之充填装置,其中 该复数个刮板系在该圆形之区域的切线方向延伸 。 27.如申请专利范围第25项之充填装置,其中 该复数个刮板系在其等的移动方向作多重配置。 28.如申请专利范围第25项之充填装置,其中 该复数个刮板系按压该圆形区域之周围的该光罩 表面。 29.如申请专利范围第20项之充填装置,其中 用以将该导电球滙集的装置系具备有喷嘴,其系从 该刮板台座对该区域周围吹出气体而将该导电球 扫集。 30.一种安装装置,其具有:申请专利范围第20项之充 填装置;及该将该光罩装设于基板之装置。 31.一种充填装置,系以把具备将导电球配置于基板 之复数个开口的光罩装设在该基板之状态下对该 复数个开口充填该导电球之装置,其具备有: 刮板台座,用以将该导电球群保持于该光罩表面之 一部份的区域;及 刮板台座支撑装置,将该刮板台座支撑为使其轨迹 之至少一部份重复地移动。 32.一种安装装置,其具有:申请专利范围第31项之充 填装置;及该将该光罩装设于基板之装置。 33.一种刮板台座,系沿着具有将导电球配置在基板 上用之复数个开口的光罩表面,而对该光罩一边以 垂直轴为中心作旋转而一边移动,该刮板台座具备 有: 滙集装置,系在该刮板台座一旋转时,则在该刮板 台座之旋转中心周围的圆形之该区域方向将该导 电球滙集。 34.如申请专利范围第33项之刮板台座,其中 将该导电球滙集的装置为刮扫器,其利用从该刮板 台座突出的构件或气体之吹出而扫过该圆形区域 之周围的该光罩表面。 35.如申请专利范围第34项之刮板台座,其中 该刮扫器系利用从该突出的构件或气体之吹出而 按压该圆形区域之周围的该光罩表面。 图式简单说明: 第1图系显示本发明之球体固定器的概略构成之平 面图。 第2图系显示刮板台座的概略构成之侧面图。 第3图系显示透过上方所见刮板台座的构成图。 第4图系利用断面来显示刮板台座的构成图。 第5图系将刮板放大显示的图。 第6(a)图系显示依刮板台座所构成之圆形区域的轨 迹之一例图,第6(b)图系将轨迹的一部份放大显示 的图。 第7图系显示依刮板台座所构成之圆形区域的轨迹 之其他例图。 第8(a)图系显示依刮板台座所构成之圆形区域的轨 迹之其他例图,第8(b)图系将轨迹的一部份作放大 显示的图。 第9(a)图系显示不同刮板台座之例子的斜视图,第9( b)图系显示透过上方所见刮板台座的构成图。 第10(a)图系显示刮板台座之其他不同例子的斜视 图,第10(b)图系显示透过上方所见刮板台座的构成 图。 第11(a)图系显示刮板台座之其他不同例子的斜视 图,第11(b)图系显示透过上方所见刮板台座的构成 图。 第12图系利用部分放大的断面图来显示刮板台座 之其他不同的例子。 第13图系利用部分放大的断面图来显示刮板台座 之其他不同的例子。 第14图系显示透过上方所见刮板台座之其他不同 例子的构成图。 |
