发明名称 相转变无铅超塑性焊剂
摘要 本发明揭示包含重量百分比(wt%)为85-96%的锡(Sn)及4-15%的铟(In)的无铅焊剂及其举例性使用。该Sn-In焊剂当其从一重熔流布(reflow)温度冷却至室温时会经历马氏体(martensitic)相转变。其结果为,由于结合构件之间的相对运动而造成之焊剂应变所引发的残留应力可被实质上降低。典型地,相对运动是因为相结合的构件之间在热膨胀系系数(CTE)上的不一致所造成的结果。本案所揭示的举例性使用包括倒装晶片(flip-chip)组件及IC封装至电路板上的安装,如球栅阵列封装。
申请公布号 TWI273140 申请公布日期 2007.02.11
申请号 TW093103220 申请日期 2004.02.11
申请人 英特尔股份有限公司 发明人 华飞
分类号 C22C13/00(2006.01) 主分类号 C22C13/00(2006.01)
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种无铅焊剂合金,其系由下列成份所组成: 11-15重量百分比(wt%)的铟(In), 至少一种选自下列的元素:Sb,Cu,Ag,Ni,Ge,及Al,其中该 至少一种元素的总重量百分比(wt%)小于2重量%,以 及余量的锡(Sn)。 2.如申请专利范围第1项之无铅焊剂合金,其具有一 组成且该组成会在其从一重熔流布温度冷却至室 温时经历一马氏体相转变。 3.如申请专利范围第2项之无铅焊剂合金,其中该合 金系以锡(Sn)为基础,且其中该马氏体相转变将该 合金的晶格结构从填充的六角形相bco(体心斜方 晶)结构转为-Sn bct(体心四角形)结构。 4.一种将构件结合的方法,其包含: 将一无铅焊剂配置在具有第一种热膨胀系数(CTE) 不一致(mismatch)的第一及第二构件之间,该焊剂包 含第一种Sn-In合金,该合金会在一温度范围内进行 由填充的六角形相bco(体心斜方晶)结构转为- Sn相bct(体心四角形)结构的转变,其中In的重量百分 比系取决于在该温度范围内该第一与第二构件之 间的热膨胀不一致之量而预先选定。 5.如申请专利范围第4项之方法,其进一步包含至少 一种选自Sb,Cu,Ag,Ni,Ge,及Al的元素。 6.如申请专利范围第5项之方法,其中该至少一种元 素的总重量百分比(wt%)小于2%。 7.如申请专利范围第4项之方法,其中In的重量%在7% 与11%之间。 8.如申请专利范围第4项之方法,其中In的重量%在11% 与15%之间。 9.如申请专利范围第4项之方法,其进一步包含:将 一无铅焊剂配置在具有第二种CTE不一致的第三与 第四构件之间,该无铅焊剂包含第二种Sn-In合金,该 合金会在一温度范围内进行由填充的六角形相 bco(体心斜方晶)结构转为-Sn相bct(体心四角形)结 构的转变,其中该第二种Sn-In合金中的In重量百分 比系与第一种Sn-In合金中者不同。 10.如申请专利范围第9项之方法,其中该第二种CTE 不一致与第一种CTE不一致不同。 11.如申请专利范围第4项之方法,其中该第一构件 包含一半导体晶粒及该第二构件包含一倒装晶片 基板。 12.如申请专利范围第4项之方法,其中该第一构件 包含一积体电路封装及该第二构件包含一电路板 。 13.如申请专利范围第4项之方法,其中该第一构件 包含一处理器晶粒及该第二构件包含一整合的散 热器。 14.一种将热膨胀系数(CTE)不一致的第一及第二构 件结合的方法,该方法包含: 将一无铅焊剂配置在该第一及第二构件之间; 将该焊剂加热至重熔流布温度;及 将该第一及第二构件冷却以将该焊剂再固化, 其中该焊剂在冷却期间会因为该第一及第二构件 的热膨胀系数(CTE)不一致所以会产生变形;且其中 该焊剂具有一组成且该组成会在其从一重熔流布 温度冷却时经历一相转变,该相转变可降低在焊剂 内的残留应力,该残留应力在相同的变行下通常都 会出现。 15.如申请专利范围第14项之方法,其中该第一构件 包含一半导体晶粒及该第二构件包含一倒装晶片 基板。 16.如申请专利范围第14项之方法,其中该第一构件 包含一积体电路封装及该第二构件包含一电路板 。 17.如申请专利范围第14项之方法,其中该第一构件 包含一处理器晶粒及该第二构件包含一整合的散 热器。 18.如申请专利范围第14项之方法,其中该无铅合金 包含锡(Sn)及铟(In)。 19.如申请专利范围第14项之方法,其中该相转变包 含一马氏体转变。 20.如申请专利范围第19项之方法,其中该合金系以 锡(Sn)为基础,及其中该马氏体相转变将该合金的 晶格结构从填充的六角形相bco(体心斜方晶)结 构转为-Sn bct(体心四角形)结构。 21.如申请专利范围第19项之方法,其进一步包含控 制冷却率,以产生一针状的马氏体微型结构。 图式简单说明: 第1a-1c图为剖面图,其显示一传统的倒装晶片组件 处理,其中第1a图显示在重熔流布(reflow)温度下的 情况,第1b图显示在该组件已冷却之后的情况,及第 1c图显示在一填料被添加及一盖被模制于该组件 上之后的情形; 第2图为相应于Sn-In合金的相图; 第3图为一示意图,其显示当一Sn-In合金从高温冷确 至低温时,其在晶格结构上的改变; 第4图为一图表,其显示相转变对温度及Sn-In重量比 例的相对改分比; 第5图为一显微镜扫描照片,其显示一被空气冷却 的Sn-7In的马氏体的形成; 第6图为一显微镜扫描照片,其显示在一挤压应力 下形成的Sn-9In的马氏体相转变的结果;及 第7图为一图表,其显示在一典型的冷却率下,矽(Si) 及Sn-7In对温度的位移特性。
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