| 主权项 |
1.一种微悬臂梁感测器,包含: 一微悬臂梁,具有一表面,系形成有至少一沟槽;及 一检测材料层,系涂布于该表面,该微结构可提升 微悬臂梁的响应偏向量。 2.如申请专利范围第1项所述之微悬臂梁感测器,其 中该沟槽形状系选自三角沟槽、梯形沟槽及方形 沟槽所组成之族群。 3.如申请专利范围第1项所述之微悬臂梁感测器,其 中该沟槽系横跨该微悬臂梁。 4.如申请专利范围第1项所述之微悬臂梁感测器,其 中该检测材料层之材质系为钯、银、镍、铂、铜 或上述任二成份以上所构成之合金系列。 5.如申请专利范围第4项所述之微悬臂梁感测器,其 中该材质系为CMC、PVA、PVP、PVC、PU、PE、PS、PMMA或 上述任二成份以上所构成之混合物族群。 6.一种微悬臂梁感测器,包含: 一微悬臂梁,具有对应之一第一表面及一第二表面 ,于该第一表面系形成有至少一第一沟槽,该第二 表面亦形成有至少一第二沟槽; 一第一检测材料层,系涂布于该第一表面;及 一第二检测材料层,系涂布于该第二表面。 7.如申请专利范围第6项所述之微悬臂梁感测器,其 中该沟槽形状系选自三角沟槽、梯形沟槽及方形 沟槽所组成之族群。 8.如申请专利范围第6项所述之微悬臂梁感测器,其 中该沟槽系横跨该微悬臂梁。 9.如申请专利范围第6项所述之微悬臂梁感测器,其 中该检测材料层之材质系为钯、银、镍、铂、铜 或上述任二成份以上所构成之合金系列。 10.如申请专利范围第9项所述之微悬臂梁感测器, 其中该材质系为CMC、PVA、PVP、PVC、PU、PE、PS、PMMA 或上述任二成份以上所构成之混合物族群。 11.如申请专利范围第6项所述之微悬臂梁感测器, 其中该第一检测材料层及该第二检测材料层系为 相同材质或用以检测相同待测物。 图式简单说明: 第1图为习知微悬臂梁感测器结构之感测机制示意 图; 第2图为习知微悬臂梁感测器之脱层示意图; 第3图为本发明第一实施例之微悬臂梁感测器; 第4图为本发明第二实施例之微悬臂梁感测器;及 第5图为本发明之微悬臂梁感测器与无表面微结构 设计之微悬臂梁感测器的感测响应比较图。 |
