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发明名称 Apparatus for fixing semiconductor substrates of plasma apparatus
摘要
申请公布号 KR20070017255(A) 申请公布日期 2007.02.09
申请号 KR20050072004 申请日期 2005.08.06
申请人 发明人
分类号 H01L21/68;H01L21/3065;H01L21/205 主分类号 H01L21/68
代理机构 代理人
主权项
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