| 发明名称 |
VERFAHREN ZUM ENTFERNEN VON RÜCKSTÄNDEN VON EINEM HALBLEITERSUBSTRAT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
DE69834931(T2) |
申请公布日期 |
2007.02.08 |
| 申请号 |
DE19986034931T |
申请日期 |
1998.09.01 |
| 申请人 |
ARCH SPECIALTY CHEMICALS INC. |
发明人 |
LOVE, LEE;HONDA, KENJI |
| 分类号 |
B44C1/22;C11D3/00;C11D3/20;C11D3/33;C11D7/10;C11D7/26;C11D7/32;C11D11/00;G03F7/42;H01L21/00;H01L21/02;H01L21/304;H01L21/306;H01L21/3213 |
主分类号 |
B44C1/22 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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