发明名称 Piezoelektrisches Stellelement
摘要
申请公布号 DE10154526(B4) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 DE20011054526 申请日期 2001.11.07
申请人 PHYSIK INSTRUMENTE (PI) GMBH & CO 发明人 WISCHNEWSKIY, WLADIMIR
分类号 H02N2/12;H01L41/04;H01L41/09;H02N2/00;H02N2/02;H02N2/06;H02N2/08;H02N2/14;H02N2/16 主分类号 H02N2/12
代理机构 代理人
主权项
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