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Die Erfindung schafft eine Halbleiterprüfvorrichtung, die den Aufwand zum Einstellen der Erzeugungszeitsteuerung eines Taktsignals, das aus Daten zu extrahieren ist, verringern oder die Zeit, die zum Einstellen erforderlich ist, verkürzen kann. Sie umfasst einen Zeitsteuerungskomparator 154, der von einem zu prüfenden Bauelement 200 ausgegebene Daten entgegennimmt, eine Takterzeugungsschaltung 120, die ein mit den vom zu prüfenden Bauelement 200 ausgegebenen Daten synchrones Taktsignal erzeugt; eine Verzögerungsabsolutbetrag-Berechnungseinheit, die eine Signallaufzeit, die einen Unterschied zwischen einer ersten Signalleitung von dem zu prüfenden Bauelement 200 zu dem Zeitsteuerungskomparator 154 und einer zweiten Signalleitung zu der Takterzeugungsschaltung 120 entspricht, als Absolutbetrag der Verzögerung berechnet; und eine Verzögerungsbetrag-Einstelleinheit, die den Betrag der Verzögerung unter einer Periode des Taktsignals entsprechend einer Frequenz oder einer Periode des Taktsignals, das von der Takterzeugungsschaltung 120 erzeugt wird, festsetzt und das Einstellen der Zeitsteuerung der Taktsignalerzeugung durch die Takterzeugungsschaltung 120 anweist.
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