Equipment for manufacturing semiconductor device,申请号KR20050070529-传众专利搜索

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发明名称	Equipment for manufacturing semiconductor device
摘要
申请公布号	KR20070016227(A)	申请公布日期	2007.02.08
申请号	KR20050070529	申请日期	2005.08.02
申请人		发明人
分类号	H01L21/3065	主分类号	H01L21/3065
代理机构		代理人
主权项
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