发明名称 Two-dimensional hierarchical nanopatterning by colloidal lithography using photocrosslinkable particles
摘要
申请公布号 KR20070016373(A) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 KR20050070984 申请日期 2005.08.03
申请人 发明人
分类号 H01L21/3065 主分类号 H01L21/3065
代理机构 代理人
主权项
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