发明名称 Halbleiterspeicher, die Herstellung davon und Verfahren zum Betreiben des Halbleiterspeichers
摘要 Halbleiterspeicher, der eine Vielzahl von Speicherzellen (21-1) aufweist, wobei der Halbleiterspeicher ein Substrat (1), mindestens eine Wortleitung (5-1), eine erste (15-1) und eine zweite Leitung (15-2; 16-1) aufweist, wobei jede der Vielzahl von Speicherzellen (21-1) einen ersten Dotierungsbereich (6), der in dem Substrat (1) angeordnet ist, einen zweiten Dotierungsbereich (7), der in dem Substrat (1) angeordnet ist, einen Kanalbereich (22), der in dem Substrat (1) zwischen dem ersten Dotierungsbereich (6) und dem zweiten Dotierungsbereich (7) angeordnet ist, einen ladungsträgerspeichernden Schichtstapel (2), der auf dem Substrat (1), auf dem Kanalbereich (22), auf einem Abschnitt des ersten Dotierungsbereiches (6) und auf einem Abschnitt des zweiten Dotierungsbereiches (7) angeordnet ist, aufweist. Jede Speicherzelle (21-1) weist ferner eine leitfähige Schicht (3) auf, die auf dem ladungsträgerspeichernden Schichtstapel (2) angeordnet ist, wobei die leitfähige Schicht (3) elektrisch schwebend ist. Eine dielektrische Schicht (3) ist auf der oberen Oberfläche der leitfähigen Schicht (3) und an den Seitenwänden (23) der leitfähigen Schicht (3) angeordnet. Die erste Leitung (15-1) erstreckt sich entlang einer ersten Richtung und ist mit dem ersten Dotierungsbereich (6) verbunden, und die zweite Leitung (15-2; 16-1) erstreckt sich entlang einer zweiten Richtung und ist mit dem zweiten Dotierungsbereich (7) verbunden. Die mindestens eine Wortleitung (5-1) erstreckt sich ...
申请公布号 DE102005045371(A1) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 DE200510045371 申请日期 2005.09.22
申请人 INFINEON TECHNOLOGIES AG 发明人 HOFMANN, FRANZ;SPECHT, MICHAEL;ROESNER, WOLFGANG
分类号 H01L27/115;H01L21/8247 主分类号 H01L27/115
代理机构 代理人
主权项
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