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发明名称 CHEMISCH VERSTÄRKTE NEGATIVPHOTORESISTZUSAMMENSETZUNG
摘要
申请公布号 DE60125539(D1) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 DE2001625539 申请日期 2001.05.22
申请人 AZ ELECTRONIC MATERIALS USA CORP. 发明人 XU, PINGYONG;LU, PING-HUNG;DAMMEL, R.
分类号 G03F7/038;G03F7/004;H01L21/027 主分类号 G03F7/038
代理机构 代理人
主权项
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