发明名称 MANUFACTURING METHOD FOR METAL LINE IN SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 KR100680939(B1) 申请公布日期 2007.02.08
申请号 KR20000059484 申请日期 2000.10.10
申请人 发明人
分类号 H01L21/28 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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