发明名称 |
先进的多压力工件加工 |
摘要 |
工件加工使用和处理室(32)协同的转移室(12)。在预热压力下,将该工件(30)加热到处理温度,之后在处理压力下,暴露于等离子体,该处理压力低于预热压力。处理室压力不超过预热压力,但是在处理室中可诱导快速的压力增长,其由处理压力过渡到预热压力。可将转移室压力维持在处理压力、预热压力下,或者可将其增至所选择的压力,从而可将该处理室再充气到预热压力。再充气装置(54)可在该处理室中选择性诱导快速的压力增加。 |
申请公布号 |
CN1910308A |
申请公布日期 |
2007.02.07 |
申请号 |
CN200580002005.7 |
申请日期 |
2005.01.06 |
申请人 |
马特森技术公司 |
发明人 |
丹尼尔·J·迪瓦恩;勒内·乔治;瑞安·M·帕库尔斯基;戴维·A·巴克 |
分类号 |
C23F1/00(2006.01);C23C16/00(2006.01);B65G49/07(2006.01);C03C25/68(2006.01) |
主分类号 |
C23F1/00(2006.01) |
代理机构 |
北京市柳沈律师事务所 |
代理人 |
封新琴;巫肖南 |
主权项 |
1.在使用处理工艺、用于处理至少一个工件的系统中,所述系统具有至少一个转移室和至少一个处理室,以致于转移室中的转移室压力和处理室中的处理室压力均可改变,且可将工件在转移室和处理室之间移动,所述系统还包括至少在等离子体处理过程期间,以给定流速,用于将工艺气体提供到所述处理室的工艺气体调节装置,且其能够以最大流速提供所述工艺气体,一方法,其包括:a)使该转移室压力和该处理室压力均衡至处理压力,在该处理压力下,将使该工件经受等离子体处理过程;b)在该处理压力下,将工件从该转移室转移到该处理室;c)将工件预热到处理温度,同时以压力增加速度,将处理室压力增至预热压力,该压力增加速率至少部分是由于以输入流速,使用额外的处理室气体输入流而产生,该输入流速导致输入到该处理室的总输入速度大于所述最大流速,而不增加该转移室压力;d)将该处理室压力降至处理压力;以及e)至少在接近所述处理压力和所述处理温度下,使该工件暴露给所述等离子体处理过程。 |
地址 |
美国加利福尼亚州 |