| 发明名称 | 用于微滴沉积装置的喷嘴板、其制造方法和喷嘴板坯件 | ||
| 摘要 | 一种喷嘴板，其包括主体(12)和插入件(26)。各喷嘴均具有入口(22)、出口(20)以及在入口和出口之间延伸并在位于开口(28)中的插入件聚合物材料中形成的内孔(24)，该开口(28)形成于喷嘴板的主体中。 | ||
| 申请公布号 | CN1298539C | 申请公布日期 | 2007.02.07 |
| 申请号 | CN02811229.6 | 申请日期 | 2002.06.05 |
| 申请人 | 萨尔技术有限公司 | 发明人 | W·扎普卡;R·哈维;S·特姆普尔;S·奥默;P·R·德鲁里 |
| 分类号 | B41J2/16(2006.01);B41J2/14(2006.01) | 主分类号 | B41J2/16(2006.01) |
| 代理机构 | 中国专利代理(香港)有限公司 | 代理人 | 章社杲 |
| 主权项 | 1.一种用于微滴沉积装置的喷嘴板，所述喷嘴板包括主体和多个喷嘴，所述主体具有用于粘结所述微滴沉积装置的所述喷嘴板的表面，各所述喷嘴具有入口、出口，以及在所述入口和出口之间延伸并形成为穿过形成于所述主体的开口内的聚合物材料的内孔，其中一层所述聚合物材料在所述主体的粘结表面上延伸，用于使喷嘴板与微滴沉积装置绝缘。 | ||
| 地址 | 英国剑桥 | ||