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发明名称 Method and device for measuring the depth of a buried interface
摘要
申请公布号 EP0929094(B1) 申请公布日期 2007.02.07
申请号 EP19980310258 申请日期 1998.12.15
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORPORATION;SIEMENS AKTIENGESELLSCHAFT 发明人 MULLER, PAUL K.;JAIPRAKASH, VENKATACHALAM C.
分类号 G01N21/55;G01B11/02;H01L21/00;G01B11/06;G01R31/26;G01R31/265;H01L21/334;H01L21/66 主分类号 G01N21/55
代理机构 代理人
主权项
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