| 发明名称 | 基板检测装置及其控制方法 | ||
| 摘要 | 本发明涉及一种基板检测装置及其控制方法，依据本发明所提供的基板检测装置包含：用于检测所述基板的检测单元；设置在所述检测单元入口区域并具有多个供应台架和供应驱动部的供应单元，该多个供应台架支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板，该供应驱动部对应于所述检测单元的入口侧而移动多个所述供应台架；设置在所述检测单元出口区域并具有多个排出台架和排出驱动部的排出单元，该多个排出台架支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板，该排出驱动部对应所述检测单元的出口侧而移动多个所述排出台架。由此提供可以较迅速、简单地检测基板的基板检测装置及其控制方法。 | ||
| 申请公布号 | CN1908685A | 申请公布日期 | 2007.02.07 |
| 申请号 | CN200610007929.2 | 申请日期 | 2006.02.21 |
| 申请人 | 三星电子株式会社 | 发明人 | 李秀浩;安德烈·尤莎科夫;任洵圭;闵敬善;郑敬锡 |
| 分类号 | G01R31/00(2006.01);G01R31/28(2006.01);H01L21/66(2006.01) | 主分类号 | G01R31/00(2006.01) |
| 代理机构 | 北京铭硕知识产权代理有限公司 | 代理人 | 韩明星;冯敏 |
| 主权项 | 1、一种用于检测基板的基板检测装置，其特征在于包含：用于检测所述基板的检测单元；设置在所述检测单元入口区域并具有多个供应台架和供应驱动部的供应单元，该多个供应台架支持至少一个所述基板而向所述检测单元依次供应所述基板，该供应驱动部对应于所述检测单元的入口侧而移动多个所述供应台架；设置在所述检测单元出口区域并具有多个排出台架和排出驱动部的排出单元，该多个排出台架支持从所述检测单元依次排出的至少一个所述基板，该排出驱动部对应所述检测单元的出口侧而移动多个所述排出台架。 | ||
| 地址 | 韩国京畿道 | ||