用于检测标线设计数据中的缺陷的计算机实现方法

摘要

提供了用于检测标线设计数据中的缺陷的计算机实现的方法。一种方法包括生成第一模拟图像，它示出了如何用标线制造过程将标线设计数据印制于标线上。该方法还包括用所述第一模拟图像生成第二模拟图像。该第二模拟图像示出了如何以晶片印制过程的一个或多个参数的不同值将标线印制于晶片上。该方法还包括使用所述第二模拟图像检测所述标线设计数据中的缺陷。另一方法包括上述生成步骤，以及按照不同值确定第二模拟图像的特征的变化率。该方法还包括基于变化率检测标线设计数据中的缺陷。

主权项

1.一种用于检测标线设计数据中的缺陷的计算机实现的方法，包括：生成第一模拟图像，它示出了如何用标线制造过程将标线设计数据印制于标线上；用所述第一模拟图像生成第二模拟图像，其中所述第二模拟图像示出了如何以晶片印制过程的一个或多个参数的不同值将标线印制于晶片上；以及使用所述第二模拟图像检测所述标线设计数据中的缺陷。