主权项 |
1.一种互补金属氧化物半导体,其特征是,包括:一第一型薄膜晶体管,包括:一第一栅极;一第一岛状多晶硅层,位于该第一栅极下,其中该第一岛状多晶硅层包括:一第一沟道区,位于该第一栅极正下方;一源极掺杂区,位于该第一栅极的一侧;以及一第一型掺杂区,位于该第一栅极的另一侧,其中该源极掺杂区、该第一沟道区与该第一掺杂区沿一第一方向排列配置;一第二型薄膜晶体管,包括:一第二栅极;一第二岛状多晶硅层,位于该第二栅极下,其中该第二岛状多晶硅层包括:一第二沟道区,位于该第二栅极正下方;一第二型掺杂区,位于该第二栅极的一侧;以及一漏极掺杂区,位于该第二栅极的另一侧,其中该第二型掺杂区、该第二沟道区与该漏极掺杂区沿该第一方向排列配置,且该第二型掺杂区与该第一型掺杂区沿一第二方向排列配置,该第二方向与该第一方向垂直;一层间介电层,覆盖于该第一型薄膜晶体管及该第二型薄膜晶体管上,该层间介电层具有多个接触窗洞,以暴露出该第一掺杂区以及该第二掺杂区;一导线,位于该层间介电层上,并通过上述这些接触窗洞连接该第一掺杂区以及该第二掺杂区,该导线的延伸方向为该第二方向;一源极接触金属,配置在该层间介电层上以及该层间介电层中,且该源极接触金属与该源极掺杂区电性连接;以及一漏极接触金属,配置在该层间介电层上以及该层间介电层中,且该漏极接触金属与该漏极掺杂区电性连接。 |