发明名称 互补金属氧化物半导体及其组合元件
摘要 本发明提供一种互补金属氧化物半导体,是由一第一型薄膜晶体管以及一第二型薄膜晶体管所构成,而第一型薄膜晶体管包括一栅极、一沟道区、一第一型掺杂区以及一源极掺杂区,其中沟道区、第一型掺杂区与源极掺杂区沿一第一方向排列配置。第二型薄膜晶体管则包括一栅极、一沟道区、一第二型掺杂区以及一漏极掺杂区,其中沟道区、第二型掺杂区与漏极掺杂区亦沿第一方向排列配置,且第二型掺杂区与第一型掺杂区沿一第二方向排列配置,第二方向系与第一方向垂直。而且,各薄膜晶体管中的掺杂区通过一导线电性相连,其中前述导线的延伸方向为第二方向。
申请公布号 CN1299363C 申请公布日期 2007.02.07
申请号 CN03136429.2 申请日期 2003.05.19
申请人 友达光电股份有限公司 发明人 胡珍仪;孙文堂
分类号 H01L27/092(2006.01) 主分类号 H01L27/092(2006.01)
代理机构 北京集佳知识产权代理有限公司 代理人 王学强
主权项 1.一种互补金属氧化物半导体,其特征是,包括:一第一型薄膜晶体管,包括:一第一栅极;一第一岛状多晶硅层,位于该第一栅极下,其中该第一岛状多晶硅层包括:一第一沟道区,位于该第一栅极正下方;一源极掺杂区,位于该第一栅极的一侧;以及一第一型掺杂区,位于该第一栅极的另一侧,其中该源极掺杂区、该第一沟道区与该第一掺杂区沿一第一方向排列配置;一第二型薄膜晶体管,包括:一第二栅极;一第二岛状多晶硅层,位于该第二栅极下,其中该第二岛状多晶硅层包括:一第二沟道区,位于该第二栅极正下方;一第二型掺杂区,位于该第二栅极的一侧;以及一漏极掺杂区,位于该第二栅极的另一侧,其中该第二型掺杂区、该第二沟道区与该漏极掺杂区沿该第一方向排列配置,且该第二型掺杂区与该第一型掺杂区沿一第二方向排列配置,该第二方向与该第一方向垂直;一层间介电层,覆盖于该第一型薄膜晶体管及该第二型薄膜晶体管上,该层间介电层具有多个接触窗洞,以暴露出该第一掺杂区以及该第二掺杂区;一导线,位于该层间介电层上,并通过上述这些接触窗洞连接该第一掺杂区以及该第二掺杂区,该导线的延伸方向为该第二方向;一源极接触金属,配置在该层间介电层上以及该层间介电层中,且该源极接触金属与该源极掺杂区电性连接;以及一漏极接触金属,配置在该层间介电层上以及该层间介电层中,且该漏极接触金属与该漏极掺杂区电性连接。
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