超纯化学制品输送系统和输送方法

摘要

一种整体块，可连接到一个用来把超纯化学制品从一个液体化学制品容器输送到半导体或光纤制造过程中的使用点的化学制品输送系统上，其中所述整体块是一个用来盛放超纯化学制品的化学制品容器块、一个用来重新填充容器的重新填充容器块、一个用来提供压力的加压气体块、一个用来清洗化学制品的清洗气体块、一个用于废物回收的废物回收块、一个用来产生真空的真空块、一个用来供给溶剂的溶剂供给块、一个用来脱气化学制品的脱气块、一个用来过滤化学制品的过滤块或它们的组合，其中预制整体块。

主权项

1.一种化学制品输送系统，用于将超纯化学制品输送到在半导体或光纤制造过程中的一个使用点上，其特征在于，所述的化学制品输送系统包括：一个化学制品容器装置，包括一个密封的化学制品容器，用于盛放超纯化学制品；一个重新填充容器装置，包括一个重新填充容器，用于从所述化学制品容器装置接收所述超纯化学制品之后盛放所述超纯化学制品；一个高压惰性气体源；一个加压气体装置，用于接收高压惰性气体，并将高压惰性气体输送到所述的化学制品容器装置和所述的重新填充容器装置；一个第一连接接头，在所述化学制品容器装置与所述加压气体装置之间，并与所述化学制品容器装置和所述加压气体装置进行流体沟通；一个第二连接接头，在所述化学制品容器装置与所述重新填充容器装置之间，并与所述化学制品容器装置和所述重新填充容器装置进行流体沟通；一个第三连接接头，位于所述重新填充容器装置与所述加压气体装置之间，并与所述重新填充容器装置和所述加压气体装置进行流体沟通；一个清洗气体源，清洗气体与所述的高压惰性气体相同或不同；一个清洗气体装置，用于接收所述的清洗气体并将所述清洗气体输送到所述的化学制品容器装置；一个第四连接接头，位于所述化学制品容器装置与所述清洗气体装置之间，并与所述化学制品容器装置和所述清洗气体装置以流体方式沟通；一个真空装置，用于产生真空；一个第五连接接头，位于所述真空装置与所述化学制品容器装置或与所述重新填充容器装置之间并与所述真空装置和所述化学制品容器装置或所述重新填充器装置进行流体沟通；一个溶剂供给装置，用于从所述加压气体装置接收所述加压气体，并因此给溶剂加压，以给所述化学制品的容器装置提供加压的溶剂；一个第六连接接头，位于所述加压气体装置与所述溶剂提供装置之间，并与所述加压气体装置和所述溶剂提供装置进行流体通达；一个第七连接接头，位于所述溶剂提供装置与所述化学制品容器装置之间，并与所述溶剂提供装置和所述化学制品容器提供装置进行流体通达。