化学蒸汽渗透和沉积工艺用的设备

摘要

本发明是关于用在化学蒸汽渗透和沉积(CVI/CVD)中的设备。本发明特别是关于在CVI/CVD炉内加热反应气体的一种预热器，和用压力梯度CVD/CVD工艺在许多多孔骨架中沉积粘结材料的一种夹具。

主权项

1.在一个炉内压力梯度CVI/CVD致密的一种带多孔骨架的夹具，包括：一个多孔骨架堆，每个多孔骨架有一个贯穿孔；一块适宜于固定在炉内的底板，该底板有一个贯穿孔；一块和上述底板隔开但相对的顶板；一个位于底板和顶板间的支撑架，该支撑架同上述底板和顶板接合，上述多孔骨架堆位于上述底板和顶板之间，其中一个多孔骨架和该底板相邻，另一个和该顶板相邻；和上述多孔骨架堆中每对相邻多孔骨架之间至少放有一个环形垫片，该垫片围绕着相邻多孔骨架孔；其中上述底板、上述多孔骨架堆和上述至少一个环形垫片界定一个封闭腔，该封闭腔从上述底板孔伸展，包括每个多孔骨架孔，到上述顶板为止。