投射电子显微镜、电子显微镜、样品表面观察法和微器件制造法

摘要

从阴极1发出的照明束4入射到偏转器3上。在对偏转器3施加电压的状态下，由偏转器3改变照明束4的光路；然后，照明束4穿过公共电子光学系统7，并对样品6的表面照明。在不对偏转器3施加电压的情况下，照明束4直接穿过偏转器3，并被电子吸收板17吸收。照明束4在穿过公共电子光学系统7时衰减，以致于该电子束4在到达样品6表面的时间点的能量接近于0eV。当照明束4入射到样品6上时，从样品6产生反射电子8。这些反射电子8穿过公共电子光学系统7，而且，在不对偏转器3施加电压的情况下，这些反射电子8穿过图像聚焦电子光学系统9，使得电子投射到MCP探测器10上。

主权项

1.一种映像电子显微镜，该映像电子显微镜使从电子源发出的照明电子束经照明电子光学系统入射到样品表面上，并使从该样品表面发出的电子经图像聚焦电子光学系统聚焦到探测装置上作为观察电子束，其中此映像电子显微镜具有光路切换装置，该光路切换装置切换照明电子束或观察电子束的方向，并且光路切换装置具有切换各电子束方向、使得照明电子束在规定定时入射到样品表面上、并使得观察电子束在不同的规定定时到达探测装置的功能。