NON-FLUORIDE CONTAINING SUPERCRITICAL FLUID COMPOSITION FOR REMOVAL OF ION-IMPLANT PHOTORESIST,申请号EP20050734797-传众专利搜索

发明名称	NON-FLUORIDE CONTAINING SUPERCRITICAL FLUID COMPOSITION FOR REMOVAL OF ION-IMPLANT PHOTORESIST
摘要
申请公布号	EP1749087(A2)	申请公布日期	2007.02.07
申请号	EP20050734797	申请日期	2005.04.12
申请人	ADVANCED TECHNOLOGY MATERIALS, INC.	发明人	KORZENSKI, MICHAEL, B.;BAUM, THOMAS, H.
分类号	C11D3/43;C11D7/50;B08B7/00;C11D3/00;C11D3/02;C11D7/02;C11D11/00;G03F7/40;G03F7/42	主分类号	C11D3/43
代理机构		代理人
主权项
地址

您可能感兴趣的专利