发明名称 TECHNIQUE AND APPARATUS FOR DEPOSITING THIN LAYERS OF SEMICONDUCTORS FOR SOLAR CELL FABRICATON
摘要
申请公布号 EP1749309(A2) 申请公布日期 2007.02.07
申请号 EP20050725665 申请日期 2005.03.15
申请人 BASOL, BULENT M. 发明人 BASOL, BULENT M.
分类号 H01L21/00;H01L21/06 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人
主权项
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