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发明名称 APPARATUS FOR DIRECTING PLASMA FLOW TO COAT INTERNAL PASSAGEWAYS
摘要
申请公布号 EP1749115(A2) 申请公布日期 2007.02.07
申请号 EP20050738373 申请日期 2005.04.21
申请人 SUB-ONE TECHNOLOGY, INC. 发明人 BOARDMAN, WILLIAM, JOHN;MERCADO, RAUL, DONATE;TUDHOPE, ANDREW, WILLIAM
分类号 C23C14/04;C23C14/32;C23C14/50;C23C16/00;H01J37/32 主分类号 C23C14/04
代理机构 代理人
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