发明名称 |
具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置 |
摘要 |
一种具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置,包括聚合箱、经聚合处理的机板、供电装置、电极、反应气体、非反应气体、供注入反应气体和非反应气体的注入口、气体排出口,聚合箱的两侧分别设置推卷机和卷绕机;电极为两个不同极性的相互对应的第一、二电极,其间保持一定间距;第一电极的一边与第二电极的边缘相连;第一、二电极的内部均为中空状,且用绝缘体形成一个封闭结构;该第一、二电极及绝缘体组成的封闭体的一面设有气体注入口,第二电极表面呈多孔状,以构成含有多孔、内部是中空状的电极结构。本发明当进行聚合处理时防止电极上形成聚合物并碳化,还可防止反应气体对电极的碳化,使放电稳定,避免发生弓形板的现象。 |
申请公布号 |
CN1298748C |
申请公布日期 |
2007.02.07 |
申请号 |
CN01136318.5 |
申请日期 |
2001.10.10 |
申请人 |
乐金电子(天津)电器有限公司 |
发明人 |
郑永万 |
分类号 |
C08F2/52(2006.01);C23C14/12(2006.01);C23C14/24(2006.01) |
主分类号 |
C08F2/52(2006.01) |
代理机构 |
天津三元专利商标代理有限责任公司 |
代理人 |
郑永康 |
主权项 |
1、一种具有多孔、中空电极的等离子体聚合处理装置,包括聚合箱、经聚合处理的机板、供电装置、电极、反应气体、非反应气体、供注入反应气体和非反应气体的注入口、气体排出口,聚合箱的两侧分别设置推卷机和卷绕机;其特征在于所述电极为两个不同极性的相互对应的第一、第二电极,其间保持一定间距;第一电极的一边与第二电极的边缘相连;第一、二电极的内部均为中空状,且用绝缘体形成一个封闭结构;该第一、二电极及绝缘体组成的封闭体的一面设有气体注入口,第二电极表面呈多孔状,以构成含有多孔、内部是中空状的电极结构。 |
地址 |
300402天津市北辰区兴淀公路 |