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发明名称
摘要
申请公布号 JP3878858(B2) 申请公布日期 2007.02.07
申请号 JP20020032233 申请日期 2002.02.08
申请人 发明人
分类号 H01L21/60 主分类号 H01L21/60
代理机构 代理人
主权项
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