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发明名称 SUBSTRATE PROCESSING APPARATUS
摘要
申请公布号 KR100679131(B1) 申请公布日期 2007.02.05
申请号 KR20050102114 申请日期 2005.10.28
申请人 发明人
分类号 H01L21/027;G02F1/13 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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