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发明名称
A DICING METHOD OF SEMICONDUCTOR WAFER HAVING REGULAR OR IRREGULAR CHIP PATTERN
摘要
申请公布号
KR100678753(B1)
申请公布日期
2007.02.05
申请号
KR20000065869
申请日期
2000.11.07
申请人
发明人
分类号
H01L21/301;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/78
主分类号
H01L21/301
代理机构
代理人
主权项
地址
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