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发明名称 SUBSTRATE TREATING APPARATUS, COATING APPARATUS, AND COATING METHOD
摘要
申请公布号 KR100678567(B1) 申请公布日期 2007.02.02
申请号 KR20040024586 申请日期 2004.04.09
申请人 发明人
分类号 G03F7/16;B05C3/18;B05C5/02;B05C11/105;B05C13/02;B05D1/26;B05D7/00;H01L21/00;H01L21/027;H01L21/68 主分类号 G03F7/16
代理机构 代理人
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