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经营范围
发明名称
Plasma process having enhanced productivity
摘要
申请公布号
KR100678459(B1)
申请公布日期
2007.02.02
申请号
KR20040066929
申请日期
2004.08.24
申请人
发明人
分类号
H01L21/205;H01L21/324
主分类号
H01L21/205
代理机构
代理人
主权项
地址
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