保护晶圆正面图案之方法与进行双面制程之方法

摘要

首先提供一晶圆，其包含有一正面及一背面，同时晶圆另包含有一正面图案位于正面，且正面图案包含有复数个孔洞。接着于晶圆之正面形成一低黏度流体，并使低黏度流体填入孔洞内。随后于晶圆之正面形成一高黏度流体，并使高黏度流体填入孔洞内。