弹性微探针结构

摘要

一种弹性微探针结构，包括一探针基座、一保护层以及一接地金属层。该保护层用于围绕该探针基座以加强基座的绝缘与牢固性；该接地金属层用于围绕该保护层以降低电气干扰，并用以组合该探针基座而成一探针卡；该探针基座之导电金属通道贯穿一导电层及一弹性层，可缩短传输路径并提高探针密度，该探针基座之探针部具有一探针本体及一尖针，可透过该弹性层来承载测试时之受力，该探针基座之焊垫则用来连接外部测试仪器。本发明弹性微探针结构系可达成高精确度及高可靠度之要求。