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发明名称
表面处理方法
摘要
本发明系提供一种不使用高危险性的硝酸等之情形中去除附着于构成真空容器等真空处理装置之零件表面之药液与金属等附着物。本发明为以构成真空处理装置之金属制零件作为被处理物之表面处理方法,其为将前述被处理物之表面经电解研磨、部分电解研磨、化学研磨、酸洗或电解酸洗后,在0.5重量%以上未达3重量%之稀硷性溶液中,添加碳酸或碳酸盐以制得浓度为0.5重量%以上未达10重量%之硷性类螯合液,再使用此液洗净前述被处理物之表面。
申请公布号
TW200704827
申请公布日期
2007.02.01
申请号
TW095117916
申请日期
2006.05.19
申请人
爱发科股份有限公司
发明人
稻吉荣;野村健;石泽克修;齐藤真一;山口真奈美
分类号
C23F1/32(2006.01)
主分类号
C23F1/32(2006.01)
代理机构
代理人
林志刚
主权项
地址
日本
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