透镜定位方法,切割方法,定位方法,及切割装置

摘要

本发明揭示一种透镜定位方法。沿平行于一光轴之方向振动一物镜时，移动该物镜或一母碟片，其中已将一光阻材料作为一薄膜形成于一基板上，从而改变该物镜与该母碟片之一表面间的一距离。藉由一光侦测器侦测透过该物镜透射并经由该母碟片表面反射的一返回雷射光束。当将该母碟片定位于该物镜之一焦点附近时，该返回雷射光束被该光侦测器侦测。当侦测到该返回雷射光束时，停止该物镜或该母碟片之该移动。