探针卡及微小构造体之检查装置

摘要

本发明系提供一种探针卡及检查装置，其以简易方式高精度地检查具有微小可动部之微小构造体。探针卡6包含扬声器2、与将探针4固定之电路基板100，且在电路基板100上载置扬声器2。并且，电路基板100上设有开口区域，藉由在该开口区域上载置扬声器2，而对微小构造体之可动部输出测试音波。然后，由探针4检测藉由可动部随着该测试音波动作所致之电气特性变化，而检查微小构造体之特性。