一种双极性静电吸盘系统中动态电浆处理的方法与装置

摘要

本发明是有关于一种在电浆反应器中蚀刻基材的方法与装置，其中电浆反应器包含了固定基材的静电吸盘。首先，提供直流电压予静电吸盘，此直流电压使基材上带有静电荷。之后，再以电浆蚀刻此基材。接着再将直流电压中断，以及利用射频源中和电浆反应室中基材上的静电荷。