用以在一积体电路上制造一窄结构之方法

摘要

一种用以在一具有一上表面之基板上提供一如相转换桥之窄直线之制造方法，包括首先形成一层第一材料于此基板上。接着，施加一层图案化材料于此层第一材料之上，并定义一图案。此图案包括一阶壁其具有一实质上延伸至此层第一材料之侧壁。一侧壁蚀刻遮罩系形成于此阶壁之上，并用以在此基板上定义一直线之第一材料，此直线之宽度系实质上被侧壁蚀刻遮罩之宽度所决定。