| 主权项 |
1.一种频域遮罩,其系形成于一二维频率平面上,该 频域遮罩可对具有复数个周期性排列图案之一灰 阶影像的频域影像进行频率强度过滤,该频域遮罩 包括: 一第一频区窗口,其系设置于该二维频率平面之中 心,该第一频区窗口具有一第一增益値; 复数个第二频区窗口,其系以该第一频区窗口中心 为中心依序排列使得相邻之该第一频区窗口中心 与该第二频区窗口中心以及相邻两第二频区窗口 之中心于频率第一轴向上相距一固定宽度以及于 频率第二轴向上相距一固定长度,该复数个第二频 区窗口其系具有一第二增益値;以及 一第三频区,其系设置于该第一频区窗口与该复数 个第二频区窗口以及相邻之该复数个第二频区窗 口之间,该第三频区系具有一第三增益値。 2.如申请专利范围第1项所述之频域遮罩,其中该固 定宽度系为x=2/Tx,其中该Tx系为该灰阶影像投 射于平面第二轴(纵轴)上之周期。 3.如申请专利范围第1项所述之频域遮罩,其中该固 定长度系为y=2/Ty,其中该Ty系为该灰阶影像投 射于该平面第一轴(横轴)上之周期。 4.如申请专利范围第1项所述之频域遮罩,其中该第 一频区窗口系具有一特征长度以及一特征宽度。 5.如申请专利范围第4项所述之频域遮罩,其中该特 征宽度以及该特征长度系分别为x/2以及y/2,其 中x =2/Tx,且该Tx系为该灰阶影像投射于该平面 第二轴向上之频域图像而得之周期,y=2/Ty,且 该Ty系为该灰阶影像投射于该平面第一轴向上之 频域图像而得之周期。 6.如申请专利范围第1项所述之频域遮罩,其中该第 二频区窗口系具有一特征长度以及一特征宽度。 7.如申请专利范围第6项所述之频域遮罩,其中该特 征宽度以及该特征长度系分别为x/2以及y/2,其 中x =2/Tx,且该Tx咳为该灰阶影像投射于该平面 第二轴向上之频域图像而得之周期,y=2/Ty,且 该Ty系为该灰阶影像投射于该平面第一轴向上之 频域图像而得之周期。 8.如申请专利范围第1项所述之频域遮罩,其中该第 一增益値系介于大于等于0以及小于等于1之间。 9.如申请专利范围第1项所述之频域遮罩,其中该第 二增益値系介于大于等于0以及小于等于1之间。 10.如申请专利范围第1项所述之频域遮罩,其中该 第三增益値系介于大于等于0以及小于等于1之间 。 11.一种影像滤波器之实现方法,其系包括有下列步 骤: (a) 撷取具有复数个周期性排列图案之一待测物之 一灰阶影像; (b) 将该灰阶影像投影在一平面第一轴以及一平面 第二轴上,并分别转换形成频域图像以求台该灰阶 影像投射于该平面第二轴上之周期Tx以及该灰阶 影像投射于该平面第一轴上之周期Ty; (c) 将该周期Tx、Ty转换成角频率x、y; (d) 以该x以及y形成一频域遮罩,该频域遮罩系 包括具有一第一增益値之一第一频区窗口且设置 于该频域遮罩之中心;复数个第二频区窗口,其系 以该第一频区窗口中心为中心依序排列使得相邻 之该第一频区窗口中心与该第二频区窗口中心以 及相邻两第二频区窗口之中心于一频率第一轴向 上相距一固定宽度以及于一频率第二轴向上相距 一固定长度,该复数个第二频区窗口其系具有一第 二增益値;一第三频区,其系设置于该第一频区窗 口与该复数个第二频区窗口以及相邻之该复数个 第二频区窗口之间,该第三频区系具有一第三增益 値;以及 (e) 以空间域旋积遮罩实现该频域遮罩以形成该影 像滤波器。 12.如申请专利范围第11项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该固定宽度系为x=2/Tx。 13.如申请专利范围第11项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该固定长度系为y=2/Ty。 14.如申请专利范围第11项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该第一增益値系为0。 15.如申请专利范围第14项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该(d)步骤更包括有: (d1)以该角频率x以及y决定具有一特征宽度以 及特征长度之该第一频区窗口与该第二频区窗口; (d2)于具有该频率第一轴向以及该频率第二轴向之 一二维频率区域将该第一频区窗口置于该二维频 率区域之中心,使该第一频区窗口外缘与该二维频 率区域之间的区域其增益値为零,以形成一第一频 域遮罩; (d3)于该第一频域遮罩上以复数个该第二频区窗口 以该第一频域遮罩之中心为中心依序排列,使相邻 之该第一频区窗口中心与该第二频区窗口中心以 及相邻之两第二频区窗口之中心相距该固定宽度 以及相距该固定长度以形成一第二频域遮罩;以及 (d4)将该第二频域遮罩减去该第一频域遮罩以形成 该频域遮罩。 16.如申请专利范围第15项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该特征宽度以及该特征长度系分别为 x/2以及y/2,其中X=2/Tx,y=2/Ty。 17.如申请专利范围第15项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该(e)步骤更包括有: (e1)以空间域的旋积遮罩实现该第一频域遮罩以形 成一第一旋积遮罩; (e2)以空间域的旋积遮罩实现该第二频域遮罩以形 成一第二旋积遮罩; (e3)以该第二旋积遮罩减去该第一旋积遮罩以形成 该影像滤波器。 18.如申请专利范围第17项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该(e1)步骤更包括有: (e11)对具有一维度之第一滤波器进行增取样Tx倍以 形成一第一一维滤波器; (e12)对具有一维度之第二滤波器进行增取样Ty倍以 形成一第二一维滤波器;以及 (e13)转置该第二一维滤波器并与该第一一维滤波 器相乘以形成该第一旋积遮罩。 19.如申请专利范围第18项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该第一滤波器与该第二滤波器系可为 一移动平均滤波器。 20.如申请专利范围第17项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该(e2)步骤更包括有: (e21)对具有一维度之第三滤波器进行增取样Tx倍以 形成第三一维滤波器; (e22)对具有一维度之第四滤波器进行增取样Ty倍以 形成一第四一维滤波器;以及 (e23)转置该第四一维滤波器并与该第三一维滤波 器相乘以形成该第二旋积遮罩。 21.如申请专利范围第20项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该第三滤波器与该第四滤波器系可为 一移动平均滤波器。 22.如申请专利范围第11项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该步骤(e)系为以空间域的旋积遮罩实 现该频域遮罩以形成该影像滤波器。 23.如申请专利范围第11项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该第一增益値系介于大于等于0以及 小于等于1之间。 24.如申请专利范围第11项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该第二增益値系介于大于等于0以及 小于等于1之间。 25.如申请专利范围第11项所述之影像滤波器之实 现方法,其中该第三增益値系介于大于等于0以及 小于等于1之间。 26.一种具有重复图案影像之瑕疵检测方法,其系用 以检测具有复数个周期排列图案之一待测物之缺 陷瑕疵状态,该检测方法系包括有下列步骤: (a) 撷取该待测物之一灰阶影像; (b) 将该灰阶影像投影在一平面第一轴以及一平面 第二轴上,并分别转换形成频域图像以求出该灰阶 影像投射于该平面第二轴上之周期Tx以及该灰阶 影像投射于该平面第一轴上之周期Ty; (c) 将该周期Tx、Ty转换成角频率x、y; (d) 以该x以及y形成一频域遮罩,该频域遮罩系 包括具有一第一增益値之一第一频区窗口且设置 于该频域遮罩之中心;复数个第二频区窗口,其系 以该第一频区窗口中心为中心依序排列使得相邻 之该第一频区窗口中心与该第二频区窗口中心以 及相邻两第二频区窗口之中心于一频率第一轴向 上相距一固定宽度以及于一频率第二轴向上相距 一固定长度,该复数个第二频区窗口其系具有一第 二增益値;一第三频区,其系设置于该第一频区窗 口与该复数个第二频区窗口以及相邻之该复数个 第二频区窗口之间,该第三频区系具有一第三增益 値;以及 (e) 使该第一增益値为0、该第二频率增益値为1以 及该第三频率增益値为0; (f) 实现该频域遮罩以形成一影像滤波器; (g) 以该影像滤波器过滤该灰阶影像,以形成不含 瑕疵之一样本影像; (h) 设定至少一灰阶差异门槛値;以及 (i) 将该样本影像上之像素与该灰阶影像之像素逐 一比对,获得每一个像素之灰阶差异値而与该至少 一灰阶差异门槛値进行比较以判对该灰阶影像对 应于该样本影像之像素是否为瑕疵。 图式简单说明: 图一系为习用技术使用之频域图像示意图。 图二A系为具有复数个周期性排列图案之灰阶影像 图。 图二B系为具有复数个周期性排列图案之灰阶影像 图转换成频域影像图。 图三A系为本发明影像滤波器之实现方法较佳实施 例流程示意图。 图三B系为本发明影像滤波器之实现方法中形成该 频域遮罩之较佳实施例流程示意图。 图三C、D、E系为本发明影像滤波器之实现方法中 实现该频域遮罩之较佳实施例流程示意图。 图四系为本发明具有重复图案影像之瑕疵检测方 法较佳实施例流程示意图。 图五A系为本发明第一频域遮罩之较佳实施例示意 图。 图五B系为本发明第二频域遮罩之较佳实施例示意 图。 图五C系为本发明频域遮罩之较佳实施例示意图。 |
