| 主权项 |
1.一种晶圆升降载台之偏移检测装置,包含: 复数个侦测探针,各与该晶圆升降载台具一间隔, 且呈等角度设置于该晶圆升降载台周围;以及 一侦测感应单元,电连接该复数个侦测探针,当至 少一该侦测探针接触该晶圆升降载台时,中断该晶 圆升降载台之运作。 2.根据请求项1之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该侦测探针有三个,且以120度等角度设置于该晶 圆升降载台周围。 3.根据请求项1之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该侦测探针系杆状,且一端朝向该晶圆升降载台 。 4.根据请求项1之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该侦测探针系由导电材质组成。 5.根据请求项1之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该侦测探针与该晶圆升降载台所在之制程反应 室腔壁系电气绝缘。 6.根据请求项1之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该间隔小于1.5cm。 7.根据请求项1之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该侦测感应单元包含一启闭单元,用以启动及关 闭该晶圆升降载台之运作。 8.根据请求项1之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该侦测感应单元包含一警示单元,当该至少一该 侦测探针接触该晶圆升降载台时,发出警示讯息。 9.根据请求项8之晶圆升降载台之偏移检测装置,其 中该警示讯息可为一声源、光源或声光。 图式简单说明: 图1系习知的晶圆制程设备示意图; 图2(a)至图2(c)例示习知之晶圆升降载台运作示意 图; 图3(a)至图3(c)系本创作之晶圆升降载台之偏移检 测装置之应用示意图; 图3(d)系本创作之晶圆升降载台之偏移检测装置之 俯视图;以及 图3(e)系本创作之晶圆升降载台之偏移检测装置之 侧视图。 |
