| 主权项 |
1.一种测试系统,其包括: 测试机台,用以执行一待测物品之测试处理; 光学字元辨识装置,用以读取该待测物品上标示之 光学字元资讯;以及 控制装置,其与该测试机台及该光学字元辨识装置 耦接,接收该光学字元资讯,据以启动并完成一待 测物品登记程序,以决定对应之该测试机台之测试 设定値,使得该测试机台据以执行该测试处理。 2.如申请专利范围第1项所述之测试系统,其中该测 试机台为一电路测试机台。 3.如申请专利范围第1项所述之测试系统,其中该待 测物品为一晶圆片。 4.如申请专利范围第3项所述之测试系统,其中该光 学字元资讯为晶圆识别编号(wafer ID)。 5.如申请专利范围第1项所述之测试系统,进一步包 含一储存装置,用以储存该测试设定値,其包含一 测试程式及一设定档案。 6.如申请专利范围第1项所述之测试系统,其中该控 制装置进一步传送一测试执行指令至该测试机台, 使得该测试机台执行该测试处理。 7.如申请专利范围第6项所述之测试系统,其中该测 试执行指令包含一晶圆批次识别编号。 8.如申请专利范围第6项所述之测试系统,其中该测 试执行指令包含一测试程式名称资料。 9.如申请专利范围第6项所述之测试系统,其中该测 试执行指令包含一设定档案名称资料。 10.如申请专利范围第6项所述之测试系统,其中该 测试机台进一步接收该测试执行指令,比对其目前 安装的测试程式是否符合该测试程式名称资料,并 且当不符合时,由该储存装置下载并安装与该测试 程式名称资料对应之测试程式。 11.如申请专利范围第6项所述之测试系统,其中该 测试机台进一步接收该测试执行指令,比对其目前 安装的设定档案是否待合该设定档案名称资料,并 且当不符合时,由该储存装置下载并安装与该设定 档案名称资料对应合的设定档案。 12.一种电路测试机台,其与一制造执行系统连结, 其包括: 一输出入装置,其系提供与该制造执行系统沟通之 介面; 一光学字元辨识装置,用以读取一待测晶圆上标示 之光学字元资讯,并将该光学字元资讯传送至该制 造执行系统,使得据以进行一晶圆登记程序;以及 一测试装置,当该待测晶圆登记程序完成后,用以 执行一待测晶圆之电路测试处理。 13.如申请专利范围第12项所述之电路测试机台,其 中该光学字元资讯包含晶圆识别编号(wafer ID)。 14.如申请专利范围第12项所述之电路测试机台,其 中该测试装置进一步接收由该制造执行系统传送 之测试执行指令,并据以执行该电路测试处理。 15.如申请专利范围第14项所述之电路测试机台,其 中该测试执行指令包含一晶圆批次识别编号。 16.如申请专利范围第14项所述之电路测试机台,其 中该测试执行指令包含一测试程式名称资料。 17.如申请专利范围第14项所述之电路测试机台,其 中该测试执行指令包含一设定档案名称资料。 18.如申请专利范围第12项所述之电路测试机台,其 中该测试装置进一步接收该测试执行指令,比对其 目前安装的测试程式是否待合该测试程式名称资 料,并且当不符合时,由该制造执行系统下载并安 装与该测试程式名称资料对应之测试程式。 19.如申请专利范围第12项所述之电路测试机台,其 中该测试装置进一步接收该测试执行指令,比对其 目前安装的设定档案是否符合该设定档案名称资 料,并且当不符合时,由该制造执行系统下载并安 装与该设定档案名称资料对应合的设定档案。 20.一种晶圆测试方法,其包括: 提供一待测试晶圆; 读取该待测试晶圆之光学字元资讯; 接收该光学字元资讯,并据以启动一晶圆登记程序 ;以及 执行晶圆测试处理。 21.如申请专利范围第20项所述之晶圆测试方法,其 中该光学字元资讯为晶圆识别编号(wafer ID)。 22.如申请专利范围第20项所述之晶圆测试方法,其 中该晶圆登记程序进一步依据该光学字元资讯撷 取该待测晶圆之晶圆批次识别编号。 23.如申请专利范围第22项所述之晶圆测试方法,其 中该晶圆登记程序进一步验证该晶圆批次识别编 号。 24.如申请专利范围第21项所述之晶圆测试方法,其 中该晶圆登记程序进一步依据该晶圆识别编号撷 取一测试程式名称资料。 25.如申请专利范围第21项所述之晶圆测试方法,其 中该晶圆登记程序进一步依据该晶圆识别编号撷 取一设定档案名称资料。 26.如申请专利范围第20项所述之晶圆测试方法,进 一步比对该测试装置目前安装的测试程式是否符 合该测试程式名称资料,并且当不符合时,依据该 测试程式名称资料下载并安装对应之测试程式。 27.如申请专利范围第20项所述之晶圆测试方法,进 一步比对该测试装置目前安装的设定档案是否符 合该设定档案名称资料,并且当不符合时,依据该 设定档案名称资料下载并安装对应之设定档案。 28.一种储存媒体,用以储存可执行于一电脑系统之 程式,上述程式包含之程式码系用以执行一测试程 序控制方法,上述方法包括步骤: 接收一晶圆之光学字元资讯; 依据该光学字元资讯启动一晶圆登记程序;以及 发出一测试执行指令。 29.如申请专利范围第28项所述之储存媒体,其中该 晶圆登记程序进一步依据该光学字元资讯撷取该 待测晶圆之晶圆批次识别编号。 30.如申请专利范围第28项所述之储存媒体,其中该 晶圆登记程序进一步验证该晶圆批次识别编号。 31.如申请专利范围第28项所述之储存媒体,其中该 晶圆登记程序进一步依据该晶圆识别编号接收一 测试程式名称资料。 32.如申请专利范围第28项所述之储存媒体,其中该 晶圆登记程序进一步依据该晶圆识别编号接收一 设定档案名称资料。 33.如申请专利范围第28项所述之储存媒体,其中该 方法进一步比对该测试装置目前安装的测试程式 是否符合该测试程式名称资料,并且当不符合时, 依据该测试程式名称资料下载并安装对应之测试 程式。 34.如申请专利范围第28项所述之储存媒体,其中该 方法进一步比对该测试装置目前安装的设定档案 是否符合该设定档案名称资料,并且当不符合时, 依据该设定档案名称资料下载并安装对应之设定 档案。 图式简单说明: 第1图显示本发明第一实施例之具有测试程序控制 的测试系统之示意图。 第2图显示本发明第二实施例之具有测试程序控制 的测试系统之示意图。 第3图显示依据本发明实施例晶圆测试控制方法的 流程图。 第4图显示依据本发明实施例之储存媒体示意图。 |
