喷墨头元件的通孔与喷孔片的制作方法

摘要

一种喷墨头元件中的喷墨头晶片通孔的制作方法。提供一喷墨头晶片，其具有第一表面与相对的第二表面。然后依序进行第一与第二处理制程，其中这两道处理制程都是先在上述第一表面上覆盖一感光材料层。之后，进行曝光，以定义一图案。接着，对曝光后的感光材料层进行显影，以形成感光材料图案，并以此感光材料图案为罩幕，利用感应偶合式电浆或乾蚀刻制程蚀刻上述喷墨头晶片的第一表面，以便先形成至少一凹处，再于凹处中形成通孔。