羰基金属前驱物之再生方法及系统

摘要

一种羰基金属前驱物之再生方法及系统。该方法包括：提供一包含羰基金属前驱物之金属前驱物蒸发系统，其中该羰基金属前驱物含有未反应及部分反应羰基金属前驱物；令含一氧化碳气体流过该金属前驱物蒸发系统而至与该金属前驱物蒸发系统流体相通之前驱物收集系统，以将该未反应羰基金属前驱物输送至该前驱物收集系统；以及收集在该前驱物收集系统中之该已输送羰基金属前驱物。提供一种监测至少一羰基金属前驱物参数的方法，以决定该羰基金属前驱物之状态及该羰基金属前驱物之再生需求。