溅镀靶用氧化铬粉末及溅镀靶

摘要

一种溅镀靶用氧化铬粉末，其特征在于，系硫为100wtppm以下之氧化铬所构成。一种含氧化铬或氧化铬5莫耳％以上之溅镀靶，其特征在于，该溅镀靶中之硫含量为100wtppm以下，且不计水分、碳、氮、硫之气体成分之纯度为99.95％以上。而提供一种溅镀靶用氧化铬粉末，该氧化铬本身之纯度高，且制造溅镀靶时可提升烧结密度，并且，使用该氧化铬粉末制造溅镀靶时，可提供一种结晶粒微细化、不会产生裂痕、均匀且致密之溅镀靶。