| 摘要 |
目的在于提供一种藉由减轻形成于图案形成材料的被曝光面上之前述图案解像度的变异量及浓度不均一现象，而可以高精细地且更有效率地形成前述图案之图案形成方法。从而，提供一种图案形成方法，其特征在于：包括将在支撑体上具有感光层的图案形成材料中之该感光层积层于被处理基体上后，再对于该感光层，使用曝光头，其系配备光照射机构、及具有n个2次元状排列之图素部的光调变机构，且系经配置成使得前述图素部的列方向与该曝光头的描扫方向形成预定之设定倾斜角度θ，关于前述之曝光头，藉着使用图素部指定机构，来指定使用于N次曝光的前述图素部之步骤；与关于前述之曝光头，藉着图素部控制机构，来进行控制前述图素部之步骤；及使前述曝光头相对于扫描方向移动而对于前述感光层进行曝光之步骤。 |
