接脚之形成方法,探针,接脚,探针卡及探针卡之制造方法

摘要

本发明系提供一种探针，其能够简单成型，组装位置或数量不受限制，且能够充分确保接触件之可动空间。探针具有：用以接触被检查体之接触件，及于前端部支持该接触件之梁部。探针之梁部之后部系接合于与被检查体相对向配置之接触器之被检查体侧之面。探针之梁部系以其前端部之前述接触件向前述被检查体侧倾斜之方式而弯曲。